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米国スタートアップSubstrate、新型リソグラフィーを開発

2025/11/6
(Substrateの発表より)

米半導体製造装置のスタートアップ、Substrate(サブストレート)はこのほど、自社が開発した半導体製造装置が、現在世界で最も先進的なリソグラフィーに匹敵する性能を備えていると発表した。

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