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中国でフォトレジスト用光開始剤が量産化へ、湖北興福電子
中国の湿式電子化学品メーカーの湖北興福電子(湖北省宜昌市)がこのほど、湖北省の科学研究機関、湖北三峡実験室が独自開発したフォトレジスト用光重合開始剤の技術権利や設備などを4,626万元(約10億4547万円)で取得し、近 »
サムスン、フォトマスク生産を初めて外部委託開始=報道
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サムスン、低価格帯光マスクの生産を外部委託へ
韓国の半導体大手・サムスン電子は、これまで内製してきたメモリーチップ製造用の光マスク(フォトマスク)のうち、i-lineおよびKrFといった低価格帯製品の外部委託を検討していることが明らかとなった。同社はより高度な製造プ »
ロシア、初の350nmリソグラフィ装置の開発を完了
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鼎龍股フン、ArF・KrFウエハー用フォトレジスト製品を初受注
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鼎龍股フンが増資、KrF/ArF向けフォトレジスト工場
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トウ程新材料、ArF向けフォトレジスト開発に進展
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