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サムスン、低価格帯光マスクの生産を外部委託へ
韓国の半導体大手・サムスン電子は、これまで内製してきたメモリーチップ製造用の光マスク(フォトマスク)のうち、i-lineおよびKrFといった低価格帯製品の外部委託を検討していることが明らかとなった。同社はより高度な製造プ »
ロシア、初の350nmリソグラフィ装置の開発を完了
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鼎龍股フン、ArF・KrFウエハー用フォトレジスト製品を初受注
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鼎龍股フンが増資、KrF/ArF向けフォトレジスト工場
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トウ程新材料、ArF向けフォトレジスト開発に進展
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