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半導体装置の深セン新凱来、セミコン・チャイナで存在感
上海市で26〜28日開催された半導体製造装置・材料に関する世界最大規模の展示会「SEMICON China（セミコン・チャイナ）2025」で、半導体製造装置を手掛ける中国の新興企業、深セン新凱来技術（広東省深セン市）が5種の製品を展示し、注目を集めた。
5製品は、エピタキシャル成長（EPI）装置「峨眉山」、原子層堆積（ALD）装置「阿里山」、物理気相成長（PVD）装置「普陀山」、エッチング（ETCH）装置「武夷山」、化学気相成長法（CVD）装置で、いずれも半導体製造プロセスにおける重要分野だ。
EPI技術は半導体の先進プロセスや第3世代プロセス、ALDは5ナノメートル以下の先進プロセスに欠かせない技術であるほか、CVDは半導体製造分野で最も需要が大きい設備の一つだ。
EPI装置は長期にわたり米アプライド・マテリアルズと東京エレクトロンが独占し、ALD装置もオランダASM社と東京エレクトロンの2社で60％超のシェアを確保。PVD装置はアプライド・マテリアルズがシェア85％を掌握している。
業界関係者は、新凱来工業機器が展示したCVD装置について、技術パラメーターは世界先端レベルに迫ったと指摘した。
新凱来工業機器は先ごろ、13種の半導体検査装置の開発を終え、国内の半導体製造企業に納入したと発表した。
世界の半導体検査装置市場規模は2023年に128億3000万米ドル（約1兆9262億円）に達し、半導体製造装置市場の13％を占めた。うち中国市場は34％を占める43億6000万米ドルの規模だった。ただ、中国の半導体検査装置は海外ブランドが席巻し、国産品シェアは5％にも満たない。新凱来工業機器が海外大手の独壇場に風穴を開けることになるかが注目される。
中国の企業情報サイト「天眼査」によると、新凱来工業機器は2022年の設立。親会社の新凱来技術は、深セン市国有資産監督管理委員会の直属企業である深セン市重大産業投資集団の100％出資で2021年に設立された。
