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鼎龍股フン、ArF・KrFウエハー用フォトレジスト製品を初受注
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サムスン傘下SEMES、ArF-iリソグラフィー塗布装置の開発に成功
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威邁芯材、合肥市で年産100万トンのフォトレジスト材料工場着工
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鼎龍股フンが増資、KrF/ArF向けフォトレジスト工場
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トウ程新材料、ArF向けフォトレジスト開発に進展
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