上海啓元気体、安徽省に半導体向け特殊ガス工場
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電子向け特殊ガスメーカーの上海啓元気体発展(上海市)は19日、安徽省合肥市に半導体先端プロセス向け電子特殊ガス工場を建設することで、地元政府と投資協定を締結した。幸福肥東が伝えた。
上海啓元気体は提携関係にある韓国系メーカーの技術資源の下、半導体先端プロセス電子ガスを生産する。工場の敷地面積は約70ムー(約4.6ヘクタール)で、本格稼働後の年間売上高は10億元(約221億6000万円)以上となる見込みだ。
上海啓元気体発展は2009年8月の設立。電子特殊ガス、電子ガス設備製造、バルクガス生産を主に手掛ける。同社の主な高純度電子特殊ガス製品は、世界の主要な半導体企業に供給されており、韓国のサムスン電子やSKハイニックスの認証にいち早く合格している。 2021年には、半導体およびディスプレイ工程に使われる特殊ガスを製造・供給している韓国TEMCから戦略的投資を受け、サムスンとSKハイニックスの特殊ガスサプライヤーとなった。