蘭露光装置大手ASMLが「輸入博」を欠席、会議と日程重なる

上海市で開催されている「中国国際輸入博覧会(輸入博)」では、2020年以降、6回連続で出展してきたオランダの露光装置メーカー、ASMLが出展を見送った。観察者網によると、同社は欠席の理由について、社内のグローバル会議と日程が重なったためと説明した。

ASMLはこれまで、装置模型や映像、仮想ウエハー工場などを通じて、包括的なリソグラフィーソリューションを紹介してきた。今年は同社の展示ブースがなかった一方、中国国内の露光装置メーカーは出展した。

会場では、上海微電子装備(集団)股份有限公司(SMEE)が、前工程向けの次世代ドライスキャン投影露光装置「SSC800」「SSB800」の模型を展示し、中国の前工程向け露光装置の自主開発における進展を紹介した。

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