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ロシア、150nmリソグラフィー装置のプロトタイプ2台を製造

By AAiT 管理者

ロシアのゼレノグラード・ナノテクノロジーセンター(ZNTC)はこのほど、設計プロセスが150ナノメートル(nm)の電子ビームリソグラフィー(露光)システムのプロトタイプ2セットの全面的なテストを開始した。装置のテストは約 »