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盛美上海、25年の純利益は21.05%増
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半導体製造装置の盛美上海、受注残高が34.1%増の90.7億元に
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盛美半導体、米KLA-Tencorの検査装置「Surfscan SP7」を導入
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盛美上海、FOPLP向けパネルめっき装置を発表
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