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北方華創、3D DRAM向け加工技術で進展 中国の国産メモリ産業が前進

By AAiT 管理者

中国最大の半導体製造装置メーカー、北方華創(NAURA、北京市)はこのほど、次世代の3D DRAMメモリ半導体の製造に向けた重要なプロセス技術の進展を、IEEEの学術誌に掲載した論文で明らかにした。高アスペクト比構造にお »