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IC設備の華海清科、研磨装置メーカーの蘇州博宏源に戦略投資
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華海清科、イオン注入装置の芯嵛を10億元で買収
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華海清科、上海市に17億元投じてIC設備工場
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中国半導体装置メーカー上位10社、上半期売上高は39%増の162億元
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12インチ向け薄片化装置、中国の研究チームが開発
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