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凱世通、新型CISイオン注入装置3台が検収
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上海万業企業、ファウンドリーからイオン注入装置を再受注
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上海万業企業、イオン注入装置の本格出荷開始へ
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半導体製造装置の万業企業、浙江省に新会社=20億元投資へ
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