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璞璘科技、光チップへのナノインプリント適用 コストはDUVの10分の1

By AAiT 管理者

中国の半導体製造装備メーカーの璞璘科技(杭州)(PRINANO、浙江省杭州市)は5日、深セン力策との協業により真空気圧式ナノインプリント方式を採用した8インチ光チップの量産化を達成したと発表した。同社が独自開発したPL- »

蘇大維格、最大5.1億元でフォトマスク欠陥検査装置メーカー・常州維普の過半数株式取得へ

By AAiT 管理者

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