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華海清科、イオン注入装置の芯嵛を10億元で買収
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上海万業企業、ファウンドリーからイオン注入装置を再受注
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深セン市政府、ウエハー製造装置などの開発に財政支援
深セン市の工業情報化局、科学技術創新局、財政局は20日、「深セン市高級設備産業クラスターの高品質発展促進に関する弁法」を発表した。薄膜成膜装置、イオン注入装置、ウエハー製造装置などの高精度機械構造部品などの開発を支援する »
セミコン・チャイナ、SiC市場に脚光
半導体製造装置・材料の国際見本市「SEMICON China(セミコン・チャイナ)」が3月20日〜22日の3日間、上海市内の上海新国際博覧中心で開催された。会場では、第3世代と位置付けられる炭化ケイ素(SiC)パワー半導 »
上海万業企業、イオン注入装置の本格出荷開始へ
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