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中国企業、液浸DUVの小ロット製造開始 SMICなどに納入＝米報道
27日付米国テクノロジーメディア、The Informationが事情通の情報として報じたところによれば、上海に本社を置く国有資本背景を持つ企業がこのほど、液浸式深紫外線（DUV）露光機の小ロット製造を開始した。
2026年に約5台を生産し、27年には約20台に引き上げる計画であり、最初のロットの機器は中芯国際（SMIC）・華虹半導体（Hua Hong Semiconductor）・長シン存儲（CXMT）などの国内大手ウェハーファウンドリーに納入してテストおよび生産ラインへの導入を行う予定だという。
この報道が出ると、半導体製造装置大手のオランダASMLの米国株は取引時間中に8%超下落し、A株の露光機関連株は7月28日に値上がり制限（ストップ高）の波が押し寄せた。張江高科は一字ストップ高、波長光電は20%ストップ高となり、海立股份・永新光学・奥普光電・東方嘉盛などが軒並みストップ高となった。
同報道は現時点では単一の匿名情報源によるものであり、ASMLは確認しておらず、中国側も回答していないという点である。年間5台・翌年20台という規模は、ASMLのグローバル年間納入台数約130台の液浸DUVと比較すれば、短期的な影響は限定的だ。国産液浸DUVが初めて実験室から量産・納入へと踏み出したことは、たとえ小ロットであっても、成熟プロセス向け露光機がASMLによって長期独占されてきた構図が崩れ始めたことを意味する。
