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ImecはEUVリソグラフィーを用いた初のウエハスケール固体ナノポア製造を実証した
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画期的な技術により、ライフサイエンスとヘルスケア分野におけるスケーラブルで高精度なバイオセンシングアプリケーションが実現
ルーヴェン（ベルギー）, 2025年12月10日 /PRNewswire/ —
- Imecは、300 mmウェーハ上でEUVリソグラフィーを使用して、固体ナノポアのウェーハスケールでの製造に初めて成功しました。このイノベーションにより、ナノポア技術は研究室規模のコンセプトからバイオセンシング、ゲノミクス、プロテオミクスのためのスケーラブルなプラットフォームへと変化します。
- ナノポアはゲノミクスとプロテオミクスに大変革をもたらすものとして歓迎されていますが、これまで固体ナノポアは、変動性と統合の課題により大量生産されたことはありませんでした。Imecの画期的な技術により、個別化医療、迅速な診断、分子データの保存を加速できる高スループットのCMOS互換バイオセンサーアレイへの道が開かれます。
- 300mmウェーハ上でEUVリソグラフィーを使用して、ウェーハ全体にわたって高い均一性を保ちながら、最小約10 nmのナノポアをウェーハ規模で製造します。この製造プロセスは、プロセス統合技術をさらに強化することで、5nm未満の細孔サイズを実現できる可能性を示しています。電気的および生体分子の転座特性評価により、6.2という高い信号対雑音比が明らかになりました。
- 「Imecは、この飛躍を実現できる独自の立場にあります。従来はメモリやロジックに使用されていたEUVリソグラフィーをライフサイエンスに適用できます。私たちのリソグラフィーインフラを活用することで、分子センシングに必要な精度で固体ナノポアを大規模に製造できることを実証しました」と、imecのR&Dプロジェクトマネージャーで筆頭著者のAshesh Ray Chaudhuri氏は述べています。「これにより、ヘルスケアやその他の分野における高スループットのバイオセンサーアレイへの道が開かれます。」
imecについて
Imecは、先進的な半導体技術における世界トップクラスの研究・イノベーション拠点です。imecは最先端の研究開発インフラストラクチャと6,500人を超える従業員の専門知識を活用して、半導体およびシステムのスケーリング、人工知能、シリコンフォトニクス、接続性、センシングの分野でイノベーションを推進しています。
Imecの高度な研究は、コンピューティング、健康、自動車、エネルギー、インフォテインメント、工業、農業食品、セキュリティなど、幅広い業界にわたる画期的な進歩を推進します。imecはIC-Linkを通じて、初期の構想から本格的な製造まで、チップ開発のあらゆるステップで企業をガイドし、最先端の設計と製造のニーズに合わせてカスタマイズされたソリューションを提供します。
Imecは、半導体バリュー チェーン全体の世界的リーダー、およびフランダースおよび世界中のテクノロジー企業、新興企業、学界、研究機関と協力しています。imecはベルギーのルーヴェンに本社を置き、ベルギー、ヨーロッパ各地、米国に研究施設を持ち、3大陸に代表事務所を置いています。2024年、imecは10億3,400万ユーロの収益を報告しました。詳細については、www.imec-int.comをご覧ください。
