半導体検査装置の東方晶源、10億元調達完了

東方晶源のウェブサイトより

中国のテクノロジー企業である東方晶源微電子科技(北京市)はこのほど、新たな資金調達ラウンドを完了し、10億元(約191億円)を調達したと発表した。新たな資金は、商品開発や工場建設など充てる。

騰訊網が伝えた。同社は2014年の設立。北京亦庄経済技術開発区を拠点とし、半導体製造工程で用いられる検査装置を生産している。

同社は、今年初め、知的財産を侵害されたとしてオランダの半導体製造装置メーカー、ASMLホールディングに提訴されて脚光を浴びた。

ASMLは今年2月に公表した年次報告書で、東方晶源がASMLの企業秘密を盗んだ可能性があると主張した。

東方晶源は半導体製造装置を生産していないものの、ASMLが手掛ける光学近接効果補正(OPC)ソフトウエアや、高速電子線検査(EBI)装置といった半導体の検査計測向けソフトウエア・ハードウエアの領域で競合している。

東方晶源は設立以来の8年間で、OPC、ナノメートル級の精度に対応したEBI、12インチと8インチウエーハサイズにそれぞれ対応した測長SEM(CD―SEM)といった主力4製品を開発。同4製品が海外勢に独占されている状況を打破した。

 

东方晶源新一轮融资近10亿,年初被ASML指控“可能侵权”

东方晶源

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