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中国電子科技、半導体材料分野で国産装置2機種を納入

By AAiT 管理者

中国国有IT大手の中国電子科技集団(CETC)傘下の電子装備メーカー、中電科電子装備集団(北京市)は4日、同社傘下の北京中電科公司が自主開発した国内初となる12インチ炭化ケイ素(SiC)結晶インゴット減薄装置および基板減 »