芯特思半導体、無錫市にR&D・製造拠点を設立へ

半導体製造用高純度ガスやALD(原子層堆積)材料の上海正帆科技の子会社、無錫芯特思半導体科技(江蘇省無錫市)は2日、江蘇省無錫市の無錫高新区に新たな研究開発(R&D)・製造拠点を建設することで地元政府らと調印した。
正帆科技は2009年創業の科創板上場企業で、長年にわたりIC(集積回路)、フラットパネルディスプレイ、半導体照明、太陽光発電、光ファイバー製造、バイオ医薬などの分野で、製造プロセスにおける重要システムの総合ソリューションを提供。子会社の芯特思は、フォトレジスト塗布現像装置、リソグラフィー計測、ウェットクリーニング装置などの運用支援に特化し、輸入部品の国産代替、装置の再生、製造ライン設備の保守・改修・プロセス改善・移設調整などの技術サービスを展開している。