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半導体検査装置の東方晶源、10億元調達完了
中国のテクノロジー企業である東方晶源微電子科技（北京市）はこのほど、新たな資金調達ラウンドを完了し、10億元（約191億円）を調達したと発表した。新たな資金は、商品開発や工場建設など充てる。
騰訊網が伝えた。同社は2014年の設立。北京亦庄経済技術開発区を拠点とし、半導体製造工程で用いられる検査装置を生産している。
同社は、今年初め、知的財産を侵害されたとしてオランダの半導体製造装置メーカー、ＡＳＭＬホールディングに提訴されて脚光を浴びた。
ＡＳＭＬは今年２月に公表した年次報告書で、東方晶源がＡＳＭＬの企業秘密を盗んだ可能性があると主張した。
東方晶源は半導体製造装置を生産していないものの、ＡＳＭＬが手掛ける光学近接効果補正（ＯＰＣ）ソフトウエアや、高速電子線検査(ＥＢＩ)装置といった半導体の検査計測向けソフトウエア・ハードウエアの領域で競合している。
東方晶源は設立以来の８年間で、ＯＰＣ、ナノメートル級の精度に対応したＥＢＩ、12インチと８インチウエーハサイズにそれぞれ対応した測長ＳＥＭ（ＣＤ―ＳＥＭ）といった主力４製品を開発。同４製品が海外勢に独占されている状況を打破した。
