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中国初のイオン注入装置を開発、中国原子能科学研究院
中国原子能科学研究院（CIAE、北京市）は17日、同研究院が自主開発した中国初の串列型高エネルギー水素イオン注入装置「POWER-750H」がビーム出力に成功し、主要性能指標が国際先進水準に達したと発表した。中国が串列型高エネルギー水素イオン注入装置に関する全工程の研究開発技術を全面的に掌握したことを示すものであり、パワー半導体製造プロセスにおける重要なボトルネックを克服したとされる。
イオン注入装置は、露光装置、エッチング装置、成膜装置と並び「半導体製造の四大中核装置」と称される不可欠な設備である。今回の高エネルギー水素イオン注入装置の開発成功は、原子力技術と半導体産業の深度融合による重要な成果であり、パワー半導体などの重要分野における中国の自立的な供給能力を大きく高めるとともに、「双炭素（カーボンピーク・カーボンニュートラル）」目標の実現や、新たな生産力の形成を加速させる強力な技術的支えとなる。
これまで中国では、高エネルギー水素イオン注入装置を全面的に海外輸入に依存しており、開発難度の高さと技術的障壁が戦略的産業の高度化を制約する要因の一つとなっていた。中国原子能科学研究院は、核物理加速器分野で数十年にわたり蓄積してきた技術力を基盤に、串列加速器技術を中核手段として、基礎原理から装置全体の統合に至るまでの正方向設計能力を完全に確立したとされる。。
中国原子能科学研究院は、中国の原子力・核科学分野の中核研究機関。1950年に設立され、中国核工業集団（CNNC：中核集团）傘下に属している。
