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ＡＩメカテック、中国大手からウエハーハンドリングシステム装置を大口受注
半導体パッケージや液晶パネルなどの製造装置を手掛ける日本のＡＩメカテック（茨城県龍ヶ崎市）は21日、中国大手OSAT（半導体後工程の組み立てとテストを請け負う）企業から、プロセス装置事業を譲り受けて初めてとなる高性能ウエハーハンドリングシステム装置を受注したと発表した。
ＡＩメカテックのウエハーハンドリングシステム装置は、ウエハーを薄化して積層する三次元実装技術（3D及び2.5D）向けにウエハーとサポートガラスを貼り付ける装置、薄化後のウエハーからサポートガラスを剝がし洗浄する装置がある。同社は「第５世代移動通信システム（５Ｇ）、ＩｏＴ（モノとインターネット）向けサーバーや高性能コンピューター、自動運転市場の成長により、（半導体の）高性能・超高速・低消費電力の要求は年々高まっており、当社のウエハーハンドリングシステム装置は薄化・積層化に対し重要なプロセスの一つを担っている」とした。
ＡＩメカテックは今回初めて中国大手OSAT企業の複数社から高い評価を得て大口の受注に至った。また現在、台湾、韓国市場などからも多数の引き合いを受けており、「高品質・高良品率へのニーズが高く、歩留まり率向上を実現できる同社設備の採用が検討されている」としている。
