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SKハイニックス、メモリー業界初の量産型High NA EUV装置を導入

By AAiT 管理者

韓国の半導体大手、SKハイニックスは3日、世界で初めて量産対応型のHigh NA(高開口数)EUV(極端紫外線)リソグラフィー(露光)装置を韓国・利川のDRAM工場「M16」に導入し、装置搬入を記念する式典を開催したと発 »